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뱃치 타입 | 파우더 ALD | 반응기 구조 최적화 | 구동력 전환 기어 시스템 | 열 분산 시스템
기술성숙도(TRL)
5단계 | Pilot규모의 시작품 제작 및 성능 평가
기술개요
여러 개의 반응기를 하나의 구동부와 열원으로 동시에 운전가능한 뱃치 타입 구조를 가지고 ALD 공정의 효율을 높일 수 있는 뱃치 타입 파우더 ALD 장치 및 이의 활용 시스템에 관한 기술임
기술특징
- 하나의 구동부가 다수의 반응기를 동시에 회전시킬 수 있으며, 이 반응기들은 베벨기어 기반의 구동력 전환 메커니즘을 통해 공간을 효율적으로 활용함
- 하나의 열원에서 발생된 열을 각 반응기에 고르게 분산하는 열공급 구조를 갖춰 에너지 효율성도 확보
- 각 반응기는 경사 구조와 요철 구조를 가지고 있어, 반응 불균일성과 필터 막힘 현상을 방지
- 반응관은 내부관과 외부관으로 구성되어 유지보수가 용이하고, 내부관을 다중 블록 구조로 설계해 분말의 정전기적 응집을 방지하여 ALD 공정의 품질을 높임
특허 및 권리현황
| 구분 | 발명의 명칭 | 출원번호 (출원일) | 등록번호 (등록일) |
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