뱃치 타입 파우더 ALD 장치 및 이의 활용 시스템

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기술문의

keyword(국문)

뱃치 타입 | 파우더 ALD | 반응기 구조 최적화 | 구동력 전환 기어 시스템 | 열 분산 시스템

기술성숙도(TRL)

5단계 | Pilot규모의 시작품 제작 및 성능 평가

기술개요

여러 개의 반응기를 하나의 구동부와 열원으로 동시에 운전가능한 뱃치 타입 구조를 가지고 ALD 공정의 효율을 높일 수 있는 뱃치 타입 파우더 ALD 장치 및 이의 활용 시스템에 관한 기술임

기술특징

- 하나의 구동부가 다수의 반응기를 동시에 회전시킬 수 있으며, 이 반응기들은 베벨기어 기반의 구동력 전환 메커니즘을 통해 공간을 효율적으로 활용함

- 하나의 열원에서 발생된 열을 각 반응기에 고르게 분산하는 열공급 구조를 갖춰 에너지 효율성도 확보

- 각 반응기는 경사 구조와 요철 구조를 가지고 있어, 반응 불균일성과 필터 막힘 현상을 방지

- 반응관은 내부관과 외부관으로 구성되어 유지보수가 용이하고, 내부관을 다중 블록 구조로 설계해 분말의 정전기적 응집을 방지하여 ALD 공정의 품질을 높임

특허 및 권리현황

지식재산권 현황 리스트
구분	발명의 명칭	출원번호 (출원일)	등록번호 (등록일)

424	Data/AI 80	(한국전자기술연구원) SDV 기술 한국전자기술연구원(KETI)은 소프트웨어 중심 차량(SDV, Software Defined Vehicle) 핵심 아키텍처를 기반으로, 차량용 운영체제·통신·보안·지능형 센서 분야의 원천 기술을 보유하고 있습니다. KETI의 기술을 활용하면 표준화된 미들웨어와 하드웨어 추상화를 통해 차량의 기능을 실시간으로 업데이트하고 사용자 경험을 혁신하는 개방형 모빌리티 생태계를 구현할 수 있습니다.	기술문의 첨부파일
423	Data/AI 79	(한국전자기술연구원) AI컨버전스(지능형시스템, 바이오/헬스케어) 기술 한국전자기술연구원(KETI)은 인공지능 알고리즘을 다양한 산업 분야와 결합해 새로운 가치를 만들어내는 AI 컨버전스(융합기술) 역량을 보유하고 있습니다. 특히 지능형 시스템(VR/AR/XR) 과 AI 바이오·헬스케어 분야를 중심으로, 대규모 데이터 분석, 딥러닝 모델 최적화, 센서 네트워크 인프라 기술을 연구·개발하고 있습니다. KETI의 기술은 고해상도 실감형 콘텐츠 제공, 저지연 영상 스트리밍, 비접촉 생체신호 모니터링 등 온디바이스 및 엣지 환경에서 실시간 처리가 가능하도록 설계되어 있습니다.	기술문의 첨부파일
422	Data/AI 78	(한국전자기술연구원) 산업안전기술 한국전자기술연구원(KETI)은 산업 현장의 사람, 장비, 시스템의 위험 요소를 사전에 식별하고 최소화하기 위한 산업안전 핵심 기술을 보유하고 있습니다. 특히 AI 기반 모니터링, 무인이동체(드론) 조종 및 정밀 측위, 가상 환경을 이용한 위험 대응 훈련 기술 분야에서 강점을 가지고 있습니다. KETI의 기술은 건설/산업현장, 항공/운송, 해상/항만 및 에너지 플랜트 등 고위험 작업 환경에 적용 가능하며, 실시간 안전 관리와 사고 예방을 목표로 연구되고 있습니다.	기술문의 첨부파일
421	디스플레이 21	백화 현상이 억제된 투명폴리이미드 잉크 적용 디스플레이 패널 및 이를 적용한 전자기기 디스플레이 회로기판 인쇄용 투명 폴리이미드 잉크 조성물 및 제조방법에 관한 기술로, 백화 현상이 억제되며, 스크린 인쇄 시 메쉬 막힘이 최소화된 고성능 투명 인쇄 잉크를 제공하는 데 목적이 있음	기술문의 첨부파일
420	전자소재 96	이송 로봇이 이동형 배터리를 이송하는 전기차 충전 및 전기차 충전 관리 시스템 다양한 차종의 전기차에 대해 충전 작업을 용이하게 수행하는 것이 가능한 전기차 충전 시스템 및 전기차 충전 관리 시스템에 관한 것으로 이동형 배터리와 이송 로봇, 충전단자 도커 및 통합 서버가유기적으로 연동되어, 다양한 차종과 주차 상황에서도 유연하고 경제적인 충전이 가능하도록 한 기술임	기술문의 첨부파일
419	전자소재 95	뱃치 타입 파우더 ALD 장치 및 이의 활용 시스템 여러 개의 반응기를 하나의 구동부와 열원으로 동시에 운전가능한 뱃치 타입 구조를 가지고 ALD 공정의 효율을 높일 수 있는 뱃치 타입 파우더 ALD 장치 및 이의 활용 시스템에 관한 기술임	기술문의 첨부파일
418	SW컴퓨팅 80	작물의 위상과 색상값을 정밀하게 분석하는 작물 특성 분석 장치 본 발명은 작물의 위상 및 색상 정보를 정밀하게 분석할 수 있는 작물 특성 분석 장치에 관한 것으로,암실 구조의 본체, 내부 조명, 영상 취득 촬영부, 위상 정보 보정용 보드판으로 구성되어 작물의 절대적인 위상 및 색상값 정보를 정확하게 획득 가능함	기술문의 첨부파일
417	센서 62	온도제어가 가능한 휴대용 열블록 모듈 본 기술은 화학 또는 바이오 반응 시료를 안정적이고 정밀한 온도에서 가열하기 위한 경량 휴대형 열블록 모듈에 관한 것으로, 특히 현장용 분석 기기에 적합함	기술문의 첨부파일
416	센서 61	편광 측정용 균형 광 검출기 및 이를 이용하는 수신기 균형 광 검출기 (balanced photodetector) 및 이를 이용하는 수신기로서, 편광 측정이 가능한 균형 광 검출기와 이를 어레이 이용하여 구현된 FMCW(Frequency Modulation Continuous Wave) 방식의 3D 센서 등을 구비한 기술	기술문의 첨부파일
415	액츄에이터 23	팔·손의 동작 유도 및 자세유지를 위한 웨어러블 하이브리드 구동기 전기 자극을 통해 신체 부위의 동작을 유도하고, 정전기력 및 장력(루프 등)을 이용해 해당 부위의 자세를 유지하는 하이브리드 구동기 기술임	기술문의 첨부파일

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