유기반도체를 제작시 Mica 필름 및 양면 투명 점착 필름층을 이용하여 높은 내화학성, 기계적 유연성, 수분 투습 안정성 및 고온 안정성을 기대할 수 있는 투습 방지 보호막 및 이의제조 방법을 제공함
기술특징
- Mica 필름은 실리케이트 미네랄의 일종으로, 내화학성, 전기 절연성, 고온 내구성 등 뛰어난 광학적 특징을 보유하고 있으며, 층상 구조를 가지고 있어 면 방향으로의 박리에 용이함
- 수분 투습 방지층 위에 바로 Mica 필름 기판을 점착할 수도 있으나, 플리실라잔, 파릴렌 등의 기능층을 추가적으로 구비하여 투습 방지 보호막의 유연성 향상을 위한 기능 부가, 또는 Mica 필름과 수분 투습 방지층 사이에 핀-홀이 발생시 유기소자가 이를 채워주어 결함 보완이 가능하도록 함