안녕하세요. ㈜퀸테스 홍아현입니다.

6인치 웨이퍼와 Sample 시편의 박막 스트레스 측정 가능 여부 문의드립니다.

1. 샘플 스펙 및 측정 내용
• 웨이퍼 크기/구조: 6인치(150mm) / 1) Pt(150nm)/Ti(10nm) on SiO2(300nm)/Si(675um), 2) PZT(1um)/Pt(150nm)/Ti(10nm) on SiO2(300nm)/Si(675um)
• 측정 항목: 박막 증착에 따른 곡률(Bow/Warpage) 및 잔류 스트레스(Residual Stress)

2. 문의 사항
• 6인치 웨이퍼 레벨 측정 가능여부 + 샘플 측정 가능여부 (예:30x30 mm)
• 측정 장비 및 방식
• 증착 전(Bare Wafer) 곡률 데이터가 필요한지 여부 (Pre-deposition / Post-deposition 비교 측정 방식인지)

안녕하세요.

신뢰성연구센터의 한송희입니다. (hsh@keti.re.kr)

 

 

시험 담당자가 검토하여 메일로 회신드릴 예정입니다.

-이규석선임(031-789-7293, gslee@keti.re.kr)

 

감사합니다.