(ASTM D150) 장비를 통한 Wafer 막질 유전율 계측 가능 여부 문의드립니다.

Wafer의 경우, Si-substrate + SiO2 막질 (절연막) 입니다.

두께는 SiO2 막질 440nm 정도 수준입니다.

안녕하세요.

신뢰성연구센터의 한송희입니다. (hsh@keti.re.kr)

저희 센터에서 가능한 유전율 측정 조건 안내드립니다.

아래 샘플 형태에서만 측정이 가능합니다. 

 

* 유전율 측정

- 주파수 : 40Hz~30MHz

- 샘플형태 : 직경 5.6cm 고체 원형(유전체만 측정 가능), 두께 1~10mm

- 시험비용 : 30만원/샘플수5개이내, 성적서 발급시 20만원 추가(VAT별도)