안녕하세요, 강남대학교 전자패키지연구소 정청하 입니다.

저희가 8인치 패턴 웨이퍼에 대해 50um 두께로 백그라인딩을 수행하였습니다.
백그라인딩 이후 상태의 잔류 응력을 측정하고자 합니다.

Itube 사이트 내에서 Stress Analyzer 장비를 확인하였는데,
해당 장비로 응력 측정이 가능할까요?

시료는 총 2개 입니다.

확인 부탁드립니다.

정청하 드림.

안녕하세요.

신뢰성연구센터의 한송희입니다. (hsh@keti.re.kr)

저희 센터에 응력 측정이 가능한 장비를 보유하고 있지 않습니다.

추가 문의사항 있으시면 이메일로 문의 부탁드립니다.

감사합니다.